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點(diǎn)擊 9091回答 0 2011-05-18 20:41

求助 柵電極的歐姆接觸測(cè)量問(wèn)題

已關(guān)閉 懸賞分:0
關(guān)于銀漿與單晶硅的歐姆接觸好壞判斷
我見(jiàn)文獻(xiàn)上測(cè)歐姆接觸方法CTLM 傳輸線法 都是蒸鍍或是光刻蝕法制成要求很精細(xì)的圖形,大概50微米。
而我只能將銀漿絲網(wǎng)印刷在硅基片上,不知如何測(cè)得歐姆接觸電阻,還望各位高人不吝賜教,先謝了。
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